納米硅粉的制備方法主要有機械球磨法、化學氣相沉積法、等離子蒸發冷凝法三種。西方國家工業生產納米硅粉的起步較早，有專門的硅粉制品公司，如日本帝人、美國杜邦、德國H.C.Stark、加拿大泰克納等均能夠應用等離子蒸發冷凝法生產多種不同粒度的Chemicalbook高純納米硅粉，生產技術方面處于世界領先地位。
國內對納米硅粉的研制起步較晚，制造水平相對落后，通常采用機械球磨法合成納米硅粉，少部分高校和科研院所可以通過化學氣相沉積法和等離子蒸發冷凝法制備納米硅粉，但僅僅處于實驗水平，目前尚無法達到批量化生產。