一種新型的掃描探針顯微鏡SPM和掃描電子顯微鏡SEM簡介

LiteScope?是一種獨特的掃描探針顯微鏡（SPM）。 它設計用于輕松集成到各種掃描電子顯微鏡（SEM）中。 組合互補的SPM和SEM技術使其能夠利用兩者的優勢。使用LiteScope?及其可更換探針系列，可以輕松進行復雜的樣品分析，包括表面形貌，機械性能，電性能，化學成分，磁性能等的表征。

相關探針和電子顯微鏡?（CPEM）結合了SPM和SEM技術。  CPEM可以同時在同一協調系統中同時獲取同一區域的SPM和SEM圖像。 結合SPM和SEM成像方法可以得到分析區域的更廣泛的信息光譜，從而揭示兩種圖像中可能存在的等同性和不一致性。

工作原理

將樣品連接到壓電掃描儀。 電子束焦點和SPM探針在CPEM圖像采集期間仍然是。感興趣的區域由壓電掃描器逐點掃描并發出信號同時對SEM檢測器和SPM探針進行采樣，以便進行測量放在同一個協調系統中。 在SPM尖端和該范圍內的聚焦電子束之間存在恒定的尖端/點偏移數百納米。 如果減去這樣的尖端/點偏移，則SEM和SPM圖像具有完美匹配和優異的相關性可以獲取CPEM圖像。

CPEM技術的優點

CPEM提供多維相關成像 - 來自掃描電子顯微鏡的圖像被擴展為3D。

使用CPEM，可以快速準確地區分SEM圖像中的地形和材料對比度。

CPEM以適當的方式將兩個或多個SEM信號與測量的地形相關聯，例如SE，BSE，EBIC等。

CPEM可以在相同的條件下同時測量AFM和SEM試樣條件，相同的測量速度等

組合的AFM和SEM掃描系統可實現精確的圖像相關，消除漂移和其他不準確性。