上海微系統所研制出微型高精度集成鉆石量子電流傳感器

電動汽車、智能電網、高速列車等新興工業應用的快速發展，對高精度的電流傳感器提出了更高要求。與傳統電流傳感器相比，基于量子效應的傳感裝置可以利用量子態操控技術來提高測量的精度。這些優勢使得基于量子效應的電流傳感器在各種應用中具有廣泛的應用前景。

近日，中國科學院上海微系統與信息技術研究所傳感技術國家重點實驗室制備了基于氮空位（NV）量子色心的微型光電一體化集成鉆石量子電流傳感器。相關研究成果以Millimeter-Scale Temperature Self-Calibrated Diamond-Based Quantum Sensor for High-Precision Current Sensing為題，發表在Advanced Quantum Technologies上。

該研究發展了集成式鉆石傳感器。這一傳感器的核心元件的尺寸為毫米量級，通過標準的微加工工藝實現。與微加工兼容的光學導入與熒光收集結構的光子探測效率達 66%，在 0–400 A的測量范圍內，最低檢測限為2 mA，并有效利用雙自旋共振調制將溫度漂移降至1.92 ppm℃^-1，這提高了傳感器的穩定性和可靠性，解決了從研究到應用受到的集成度不足的制約問題。這一成果為當前的量子傳感技術提供了穩健且可擴展的平臺，在電動汽車、智能電網等多個關鍵領域擁有良好的應用前景。

研究工作得到國家重點研發計劃和中國科學院戰略性先導科技專項等的支持。

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