中國電科超聲掃描顯微鏡獲獎填補國內空白

　　近日，中國半導體行業協會、中國電子材料行業協會、中國電子專用設備工業協會、中國電子報共同評選出“第四屆(2009年度)中國半導體創新產品和技術”36個項目。中國電子科技集團公司第45研究所研發的SSJ-100超聲掃描顯微鏡榮獲此獎項。

　　SSJ-100超聲掃描顯微鏡是一種離線的檢測分析設備，在失效分析、工藝過程開發、關鍵生產工序的監控及小批量產品檢測方面有很大的優勢，填補了國內空白，并且在各類超聲圖像的構建與分析、超聲發射接收裝置、聚焦承片裝置等多方面擁有相關ZL及自主知識產權的核心技術。該產品可用于各類半導體器件封裝如QFN、BGA、FlipChip、CSP、MCM等內部損傷及不連續性等各種缺陷的無損檢測及可視化分析，并可用于MEMS的內部無損檢測、制造工藝分析以及陶瓷、玻璃、金屬、塑料等各種材料的特征、特性分析。相對于X射線的無損檢測，超聲掃描顯微鏡可以完整反映器件內部粘接層、填充層、結合層等各方面的內部缺陷，作為無損檢測的新一代技術，它擁有不可替代的優勢。它以良好的技術支持切實為用戶解決問題，在與國外同類產品的競標中獲得了用戶的認可，受到了眾多用戶的好評。該產品不但在技術上成為用戶產品生產的可靠保障，而且真正降低了國內用戶的生產成本。