中科科儀研制多項“首臺套”產品，突破“卡脖子”難題

　　開局即奔跑，實干爭春早。作為轄區內“硬科技”企業，中科科儀緊密圍繞“搶占科技制高點”的總目標、總任務、總要求，依靠關鍵核心技術創新，研制出多項國內“首臺套”產品，打破國外壟斷，解決了一批高端科學儀器裝備與核心零部件關鍵領域“卡脖子”“空心化”問題，為高質量發展奠定堅實基礎。

　　日前，記者走進北京中科科儀股份有限公司（以下簡稱“中科科儀”）看到，企業內各個團隊鉚足干勁，全力投入到研發工作之中，奮力沖刺“開門紅”。

　　記者走進中科科儀真空技術實驗室看到，研發中心的工程師們正在全方位進行半導體前道工藝專用磁懸浮分子泵的各項性能測試，進一步擴大半導體裝備“心臟部件”——磁懸浮分子泵的國產化水平，為我國半導體產業鏈自主可控貢獻力量。

　　中科科儀 真空技術工程 許鵬：磁懸浮分子泵是集成電路關鍵制造裝備的核心部件，但是在集成電路裝備領域長期受國外壟斷，嚴重影響了我國集成電路產業的安全，磁懸浮分子泵產品國產化已經成為制約我國集成電路制造裝備產業發展的“卡脖子”問題。

　　為了破解這一關鍵“卡脖子”難題，中科科儀真空技術研發團隊深耕細作，依托在分子泵領域近50年的核心技術積累和產業化應用經驗，聚焦半導體產業應用，成功開發出半導體刻蝕和離子注入專用全口徑、全系列磁懸浮分子泵。

　　中科科儀 真空技術工程 許鵬：我們的磁懸浮分子泵完成了高壓強磁屏蔽、大承載力、智能化磁懸浮控制、耐腐蝕表面處理和防沉積等數十種核心技術攻關，目前產品的性能指標與穩定性都已經達到了國際先進水平。

　　為了進一步精進產品，新春伊始，真空技術研發中心的工程師已經緊鑼密鼓投入到定制化新產品研發、性能測試和產品應用技術支持工作中。

　　中科科儀 真空技術研發中心主任——宋海燕：我們將持續深耕半導體裝備需求，明確技術攻關方向，不斷提升產品性能，力爭實現對國際競品的全面替代，以更新、更優、更智能、更可靠的產品，搶占科技制高點，解決行業發展瓶頸問題，推動半導體行業穩步發展。

　　隨后，記者來到中科科儀掃描電子顯微鏡的生產現場，看到中科科儀的總體調試工程師們正在對一臺臺掃描電子顯微鏡進行最后的集成調試。生產現場的另一側，已經檢驗合格的掃描電子顯微鏡正在進行專業的包裝，隨后將發到客戶現場進行后續安裝調試驗收。

　　中科科儀 掃描電鏡生產負責人——李文龍：掃描電子顯微鏡被列為國家三十五項“卡脖子”技術之一，也被稱為科學界的“納米之眼”，主要應用于材料、物理、化學、生命科學等領域。作為高端通用大型科學儀器，在納米量級觀測設備中，掃描電子顯微鏡與納米科技、分子生物學、半導體制造檢測技術等行業相互促進發展。當前，我們的產品在市場中已經具備與國外品牌直面競爭的能力。作為國產電鏡力量，我們不斷為我國科學家構建創新研究平臺，努力為實現高水平科技自立自強、為加快創新驅動發展提供強有力的支撐。

　　此外，作為科學儀器產業鏈鏈主企業，中科科儀不僅聚焦自身“科創實力”的增強，同時堅持系統觀念、問題導向，全力增強產業鏈、供應鏈上下游企業的自主可控能力。記者在中科科儀園區內看到，園區內除了中科科儀，還有北京中科科美科技股份有限公司、北京真空學會和1家集成電路全國重點實驗室。

　　中科科儀 園區開發管理部經理助理——畢思思：為進一步促進科技創新，我們在中科科儀的園區內，積極圍繞創新鏈、產業鏈、人才鏈等進行資源整合，希望可以吸引優質科技企業入駐。與此同時，我們加快形成與科技創新體系、產業發展體系密切結合的創新生態體系，以期更好為園區內科技企業提供高品質服務。

　　中科科儀 黨委副書記、總經理——王高峰：中科科儀還將繼續堅持聚焦“硬科技”發展的定位和要求，秉承國有企業的責任與擔當，服務國家重大戰略需求，引領國內尖端科學儀器設備及真空技術進步，領航產業發展，為全面搶占科技制高點，實現高水平自立自強作出更大貢獻。

　　創新爭先始終是中科科儀最亮眼的底色。作為目前國內極少數同時具備電子光學儀器及超高真空獲得部件研發制造能力的企業之一，未來將持續聚焦高端科學儀器裝備和核心零部件科技成果轉化與規模產業化，在攻克“卡脖子”難題、實現國產化替代等方面發揮重要作用。