1、性質不同:二次電子像是以入射方向逸出樣品的電子。背散射電子像是在掃描電子顯微鏡中,通過電子槍產生的電子,經過加速磁場、偏轉磁場后,照射到待檢測的樣品表面,待檢測樣品會反射一部分的電子。
2、特點不同:在掃描電子顯微鏡的工作鏡腔里的背散射電子探頭就會檢測到這些被反射的電子,進而在檢測器上所成的像。二次電子的產額強烈依賴于入射束與試樣表面法線間的夾角a ,a大的面發射的二次電子多。
3、特征不同:二次電子像主要是反映樣品表面10nm左右的形貌特征,像的襯度是形貌襯度,襯度的形成主要取于樣品表面相對于入射電子束的傾角。電子照射到待測樣品的過程中,樣品能發射一部分電子,背散射電子探頭就會檢測到這些電子,從而產生相應的電信號。