MEMS（微機電系統）反射鏡是由微型馬達驅動的一維或二維小型固態反射鏡（片上反射鏡）。 指向鏡面的激光束被掃描鏡精確地偏轉和轉向，以在特定時間到達目標點。
技術特點：
快速靜電（ES）執行器，功耗最低。 ES執行器在鏡面的自諧振頻率下工作，是高掃描頻率（幾十KHz）的理想選擇。
強而精確的電磁（EM）執行器。 EM執行器非常適用于點對點或慢速掃描模式。
電容式傳感器以非常高的精度和快速響應來測量反射鏡角度位置。
先進的控制電路和算法對反射鏡運動進行連續的嚴密控制，確保最高的精度，重復性和溫度穩定性。
聯系：伽太科技，sales@gamtic.com
2D單鏡 - 最小化光學引擎尺寸并提高光學效率
靜電（H）和電磁（V）執行器的組合 - 提高了魯棒性并優化了性能
寬光學FOV，45°（H）×30°（V） - 提供較大的圖像/掃描面積
高靈敏度，動態閉環控制環路 - 即使在環境條件變化時也能保持穩定的峰值性能
靜態鏡像報警信號 - 支持人眼安全
具有標準數字視頻接口的MEMS控制器 - 簡化系統設計和集成
非密封塑料包裝 - 降低成本
溫度穩定性 - 在寬溫度范圍內的完美圖像
技術規格參數:
| Item | Specification | |
| General | Optical angle (H x V) | Typ.: 45x20 Deg. Max: 45x30 Deg. |
| Resolution (HxV) | Typ.: 1280x480 pixels Max: 1280x600 pixels | |
| Pixel position error | +/- 1/5 pixel | |
| Resonance frequency (H) | 10,250 Hz | |
| Resonance frequency (V) | 1800 Hz | |
| Effective mirror size (H) | 1 mm | |
| Effective mirror size (V) | 1.1 mm | |
| MEMS Scanning Module dimensions (L x W x H) | Typ.: 12×6.5×5.9 mm Small: 10×5.5×4.6 mm | |
| MEMS Scanning module power consumption | 70 mW (rms) | |
| Package | Typ.: Plastic, Non-Hermetic Custom: Ceramic, Hermetic | |
| Optical | Throw Ratio | 1.2 |
| Incident angle (H) | 0 Deg. | |
| Incident angle (V) | 15 – 22 Deg. | |
| Mirror reflectance | Typ.: 90-93% (Aluminium coating) Max: 99.5% (High Reflective Coating) | |
| Overall reflectance | 85% (Mirror & Optical window) | |
| Wavelength range for reflection | Typ.: 440 -700 mm Custom: Any wavelength upon request | |
| laser max spot size | 0.7 mm |