通常指工頻和高頻放電。工頻放電時，陰、陽極以工頻交替變化，其放電特性與直流放電有類似之處。高頻放電時，電子仍是從電場取得能量的主要粒子。高頻電場使電子往復運動，在此過程中，電子與分子碰撞并把能量傳給分子，使氣體溫度升高，或產生激發、離解與電離現象。碰撞后的電子運動變為無規律的，在電場作用下又按照電場力的方向加速，這樣不斷地把能量從電場傳給氣體。在高頻放電中，每單位體積氣體中輸入功率的平均值圴為：
式中n為電子密度；e為電子電荷；Ee為高頻電場強度的幅值;m為電子質量;vo為碰撞頻率；ω為外加電場的頻率。