超純水器，采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級紫外殺菌處理等方法，將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。超純水的電阻率可大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值。
超純水器又稱做：超純水機，超純水設備，超純水儀，超純水系統，實驗室超純水器（實驗室超純水機）等。
