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  • 發布時間:2022-07-06 11:06 原文鏈接: 什么是EBSD技術

    EBSD是一種“結晶學”分析系統。
    1996年美國TSL(TexSemLaboratories,Inc.)公司推出了TSLOIM系統,空間分辨本領已優于0.2μm,比原理相似的電子通道圖樣(ECP)提高了一個量級,在0.4秒鐘內即能完成一張衍射圖樣的自動定標工作。英國牛津集團顯微分析儀器Link-OPAL公司的EBSD結晶學分析系統,目前已用于Si片上Al連線的取向分析,以判斷其質量的優劣及可行性。
    以背散射電子衍射圖樣(EBSP)為基礎的晶體學取向成像電子顯微術(OIM)。在SEM上增加一個可將試樣傾動約70度的裝置,CCD探測器和數據處理計算機系統,掃描并接收記錄塊狀試樣表面的背散射電子衍射花樣(背散射菊池花樣),按試樣各部分不同的晶體取向分類成像來獲得有關晶體結構的信息,可顯示晶粒組織、晶界和裂紋等,也可用于測定織構和晶體取向。可望發展成SEM的一個標準附件。

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