EDS主要使用于微觀樣品的元素分析,它是靠檢測元素電子躍遷產生的特征X射線來確認元素存在的,只能確認元素,不能確認化和價態。所以廣泛應用于材料相關的地方。如果你要表征化和態,EDS無能為力。而它的優勢就是你可以檢測到極其微量的樣品,可以小到幾十納米的樣品。