1953 年，蘭德首次進行了俄歇電子能譜用于表面分析的研究。到1967年哈里斯采用電子能量微分法，使電子能量分布曲線上的俄歇譜峰通本底區分開來，才使得俄歇效應的應用走上實用階段。
圖1 俄歇電子能譜儀
基于俄歇效應的俄歇電子能譜儀是一種實用較廣的表面分析儀器 [1] ，它靠檢測自表面逸出的俄歇電子的特征能譜铏表面成份分析，了解表面的化學環境等。俄歇電子能譜儀的結構如圖1所示，它由置于超高真空的旋轉式樣品臺、電子槍（激發源）、離子槍、電子能量分析器、電子探測器等部件組成主體，附加檢測電路及記錄顯示系統組成，近代產品都配有計算機進行數據處理。