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  • 發布時間:2021-05-20 10:03 原文鏈接: 俄歇電子能譜分析的原理

    俄歇電子能譜分析是通過檢測試樣表面受電子或X射線激發后射出的俄歇電子的能量分布來進行表面分析的方法,寫作AES。是電子能譜分析技術之一。其原理是:用具有一定能量的電子束或X射線激發試樣,使表面原子內層能級產生空穴,原子外層電子向內層躍遷過程中釋放的能量又使該原子核外的另一電子受激成為自由電子,該電子稱為俄歇電子,其能量與激發源能量無關并帶有特征性。用能量分析器(常用靜電型)檢測這些電子的能量分布,得到以其動能為橫坐標,電子計數率(或一階導數)為縱坐標的俄歇電子能譜圖。它可以檢測除氫和氦以外的所有元素,更適于輕元素的定性定量分析;根據譜峰位置與峰形可推測表面原子的種類和化學狀態;探測深度小于2nm。若入射電子束沿試樣表面掃描可進行二維表面元素分析;結合離子濺射剝蝕,可研究試樣沿深度方向的成分變化,獲得三維的元素分布信息。 

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