俄歇電子能譜（1）

俄歇電子能譜（Auger electron spectroscopy，簡稱AES），是一種表面科學和材料科學的分析技術。因此技術主要借由俄歇效應進行分析而命名之。這種效應系產生于受激發的原子的外層電子跳至低能階所放出的能量被其他外層電子吸收而使后者逃脫離開原子，這一連串事件稱為俄歇效應，而逃脫出來的電子稱為俄歇電子。1953年，俄歇電子能譜逐漸開始被實際應用于鑒定樣品表面的化學性質及組成的分析。其特點在俄歇電子來自淺層表面，僅帶出表面的資訊，并且其能譜的能量位置固定，容易分析。

• 中文名：俄歇電子能譜

• 外文名：Auger Electron Spectroscopy（AES）

• 激發源：利用高能電子束為激發源

• 基本原理：物理原理

• 專  業：分析技術

背景歷史

最近十年中，固體表面分析方法獲得了迅速的發展，它是目前分析化學領域中最活躍的分支之一。 它的發展與催化研究、材料科學和微型電子器件研制等有關領域內迫切需要了解各種固體表面現象密切相關。各種表面分析方法的建立又為這些領域的研究創造了很有利的條件。

在表面組分分析方法中，除化學分析用電子能譜以外，俄歇電子能譜是最重要的一種。目前它已廣泛地應用于化學、物理、半導體、電子、冶金等有關研究領域中。

雖然早在 1925 年法國人俄歇就已在威爾遜云室內首次發現了俄歇電子的徑跡，1953 年蘭德從二次電子能量分布曲線中第一次辨認出俄歇電子譜線， 但是由于俄歇電子譜線強度低，它常常被淹沒在非彈性散射電子的背景中，所以檢測它比較困難。 六十年代末期， 由于采用了電子能量分布函數的微分法和使用低能電子衍射的 電子光學系統，才使檢測俄歇電子的儀器技術有了突破。 1969 年圓筒形電子能量分析器應用于AES譜儀, 進一步提高了分析的速度和靈敏度。 七十年代以來,AES已迅速地發展成為強有力的固體表面化學分析方法。