1、光源
最好采用單色光，因為光的速度，折射率，和干涉現象由于波長的不同而有差異。一般鏡檢可使用普通光。
2.物鏡：應使用無應消色差物鏡，因復消色差和半復消色差物鏡本身常發生偏振光。
3、目鏡
要帶有十字線的目鏡。
4、聚光鏡
為了取得平行偏光，應使用能推出上透鏡的搖出式聚光鏡。
5、伯特蘭透鏡
聚光鏡光路中的輔助部件，這是把物體所有造成的初級相放大為次級相的輔助透鏡。它可保證用目鏡來觀察在物鏡后焦平面中形成的平涉圖樣。
