霧是指光學零件的拋光面上，呈現出“露水”似的物質，有些物質是由油質點子構成的；有些是由水珠或水與玻璃起化學反應形成堆積物構成的；有些是由水與油混合形成的。不管何種原因形成的，霧形成的原因主要有幾下幾種：
1、 光學零件表面不清潔，擦得不干凈，留下了很多的灰塵與油跡，這些灰塵與油跡在吸收了空氣中的水分后就會形成霧。
2、光學玻璃化學穩定性差。光學玻璃主要是硅酸鹽玻璃，在遇到水后就會發生不同程度的水解，水解后的堿溶液會吸收空氣中的酸性氣體二氧化碳形成碳酸鹽，由于空氣干燥，水蒸發后留下的碳酸鹽小晶體堆積在玻璃表面，就形成了霧。
3 、儀器金屬零件上的油脂也會因為發揮擴散到光學零件上形成油性霧。
4、儀器處在的溫度環境不同也會形成霧，如高溫、低溫以及溫度變化大條件下，光學儀器就易形成霧。