1、 減少儀器內部的水蒸氣，防止水蒸氣在玻璃表面上凝結
減少儀器內部的水蒸氣，防止水蒸氣在玻璃表面上凝結，要從以下幾個方面入手。首先，需要在干燥的條件下進行裝配或對裝配好的儀器進行干燥處理，如充干燥氮氣或空氣以及放置干燥劑。其次，在光學測量儀器使用中盡量要控制好環境，盡量在溫度變化小以及濕度較小的地方使用光學測量儀器。最后，選擇好存放儀器的庫房。儀器存放的庫房要通風、向陽、干燥，而且要在儀器箱內放入干燥劑，并注意密封和及時更換烘干硅膠干燥劑。
2、使用化學藥劑防霧
使用化學藥劑防霧除霧是一種很好的除霧防霧方法，可以起到比較好的效果，防霧藥劑主要是一些有機硅油，如甲基硅油、3204 等，把這些化學藥劑配成溶液涂在光學零件表面上，從而使零件表面形成一層憎水層，可起到良好的防霧效果