光電子能譜儀（photoelectron spectrograph）是利用光電效應測出光電子的動能及其數量的關系，由此來判斷樣品表面各種元素含量的儀器。可分析固、液、氣樣品中除氫以外的一切元素。
用途
光電子能譜儀可研究原子的狀態、原子周圍的狀況及分子結構，在表面化學分析、分子結構、催化劑、新材料等研究領域中已得到應用。
主要用途：
1.XPS測定
2.XPS成象
3.深度剖析
4.微區分析
5.角分辨XPS 可應用于各種固體材料表面（界面）的元素及化學態的定性、半定量、結構分析及化學鍵研究。
