光電測距儀的測距誤差分為兩部分:
(1)比例誤差:與被測距離長度成比例的誤差，主要是由頻率誤差，大氣折射率誤差及真空光速測定誤差給測距結果帶來誤差。其中光速測定誤差對測距值的影響可忽略不計。
(2)固定誤差:儀器固有的誤差，與被測距離長度無關，包括零點誤差的檢定誤差，儀器與反光鏡的對中誤差，測相誤差，幅相誤差，發光管相位不均勻性誤差和周期誤差。周期誤差主要來源于儀器內部光電信號的同頻竄擾，誤差的大小是以精測尺的長度為周期重復出現的。
其中比例誤差、周期誤差、零點誤差為光電測距儀的主要系統誤差。
根據大量實測數據表明:由于儀器發光管和接收管相位不均勻性以及幅相誤差等因素，儀器還存在除頻率誤差和大氣折射率誤差外，與距離長短相關的改正項，習慣上將與距離長短有關的改正數統稱為乘常數!。零點誤差的改正數稱為加常數。系統誤差可通過檢定中獲得系統誤差值而施加改正的方法來消除。因此光電測距儀系統誤差的檢定主要包括以下三項:
(1)周期誤差的檢定；
(2)加常數的檢定；
(3)乘常數的檢定。