光電直讀光譜儀分析的缺陷有以下幾點。
(1)由于使用出射狹縫，因此不能利用波長相近的譜線。
(2)由于使用出射狹縫，PMT接收譜線的同時，還接收背景(采用BKG 175．7nm背景通道，可扣除背景的影響)。
(3)出射狹縫的位置固定，分析的元素受到限制，對分析任務的變化需更改通道，選擇另外的出射狹縫。
(4)由于背景的存在，對痕量元素的分析有些困難。
(5)它不是一個獨立的方法，而是要依靠化學分析。要求化學分析提供光譜的標準樣品的準確含量，校對光譜的分析結果。
