1、濕法：該方法是將鋰鹽溶于無水氫氟酸中形成LiF·HF溶液，然后通入PF5氣體進行反應生產六氟磷酸鋰結晶。經分離，干燥得到產品。
2、干法：該方法是將LiF用無水HF處理，形成多孔LiF，然后通入PF5氣體進行反應，從而得到產品。
3、溶劑法：該方法是使鋰鹽與氟磷酸的堿金屬鹽、銨鹽或有機胺鹽在有機溶劑中反應，結晶，從而制取六氟磷酸鋰產品。
