俄歇效應作用是研究核子過程（如捕捉過程與內轉換過程）的重要手段。同時從俄歇電子的能量與強度，可以求出原子或分子中的過渡幾率。反之，由已知能量的俄歇 光譜線，可以校準轉換電子的能量。按照這一效應，已制成俄歇電子譜儀，在表面物理、 化學反應動力學、冶金、電子等的領域內進行著高靈敏度的檢測與快速分析。
奧地利科學家Lise Meitner在1920年首先觀察到俄歇過程。1925年，Pierre Victor Auger在Wilson云室實驗中采用高能X射線來電離氣體，并觀察到了光電子。對電子的測量分析表明其軌跡與入射光子的頻率無關，這表明電子電離的機制是原子內部能量交換或無輻射躍遷；運用基本量子力學計算出躍遷率和躍遷概率，以及進一步的實驗和理論研究表明，該效應的機制是無輻射躍遷，而非內部能量交換。