①可得到從短波至長波的線狀連續光譜，為ICP光譜理論研究提供極為有利的條件。
②可在全波段范圍內得到較高分辨率。尤其是在波長350～450nm范圍內其譜線強度強，分辨率仍然較高。這是稀土工業中，稀土金屬與稀土氧化物中稀土元素及非稀土元素測定最佳的分析儀器。而其他ICP光譜儀器做這方面工作是很艱難的。
③整個波段范圍色散率、分辨率基本一致，適應于波長表的制作與分析波長的選用同時，同一種元素各分析譜線都取在同級次光譜區，所以其強度具有可比性。而且目前出版的很多波長表及所附的光譜參數均可以應用。
④這種儀器的缺點：增大分辨能力，必須增大分光器的焦距，導致儀器體積大。而增多光柵刻線數，受到很多條件限制，無法執行。另外，分析速度不如中階梯光柵固體檢測器件光譜儀快。