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  • 發布時間:2024-08-12 15:35 原文鏈接: 關于擬乳己糖神經酰胺的基本介紹

      擬乳己糖神經酰胺是隨著ULSI技術的不斷向前發展,對半導體硅的表面性質要求也越來越嚴格。而且電路的集成度日益提高,單元圖形的尺寸日益微化,污染物對器件的影響也愈加突出,以至于潔凈表面的制備已成為制作64M和256MbyteDRAM的關鍵技術[1,2]。此外有超過50%成品損失率是由硅表面的污染所造成的。

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