二氧化硅塵粒(矽[xī]塵)吸入肺泡后被巨噬細胞吞噬,含有矽塵的吞噬小體與溶酶體合并成為次級溶酶體。二氧化硅的羥基與溶酶體膜的磷脂或蛋白形成氫鍵,導致吞噬細胞溶酶體崩解,細胞本身也被破壞,矽塵釋出,后又被其他巨噬細胞吞噬,如此反復進行。受損或已破壞的巨噬細胞釋放“致纖維化因子”,并激活成纖維細胞,導致膠原纖維沉積,肺組織纖維化。