（1）X射線熒光光譜儀中最昂貴的部分是高壓 X射線光管，它是儀器的核心部件。高壓發生器的輸出功率一般為 3kW或 4 kW，將高壓加至 X 射線光管后，除小部分能量用于產生X 射線外，大部分能量轉化為熱能，由內部水循環冷卻系統帶走。X射線光管對冷卻水的溫度、壓力、電導率都有嚴格的要求，其最佳冷卻水溫為 22℃～24℃，一般不能超過 30℃，超過 35℃則使用壽命會大大降低。內部循環水用于冷卻陽極靶附近的光管頭部分，因此要求內部循環水為電導率很低的去離子水（必須保證該冷卻水的電導率＜2 μs／cm），以防高壓擊穿導致 x射線光管損壞。冷卻水箱內放置離子交換樹脂，內部循環水通過儀器內部的去離子樹脂降低電導率。樹脂會年久失效，因此當高壓發生器無法啟動時，可檢查一下內部循環水的電導率，如果電導率降不下來（電導率＞2 μs／cm時），就必須將舊的離子交換樹脂取出，裝入合乎要求的新離子交換樹脂。另外，內部循環水的水位過低，也會導致高壓發生器開不起來。
（2）X 射線管的窗口是厚度為 75 μm 的鈹（為了提高透射率），容易破碎，一定要避免碰撞，有時管窗的金屬鈹表面會被氧化，而氧化后生成的氧化鈹有劇毒，所以使用時要特小心。正常情況下應該是鈹窗表面有些內凹，若它的表面成了平面，則可能是內真空已經被破壞了。鈹窗沾污時可用毛刷輕輕拂去，或者用二甲苯小心拭去。
（3）X射線管閑置一段時間后，其內部的真空度會有所降低，如果不是緩慢的而是直接升到較高的 KV -mA 值會產生高壓放電，嚴重時會導致 X射線管損壞。因此，閑置一段時間后首次開機，很重要的一點就是：慢加管壓和管流（一定要緩慢交替升高電壓、電流，每次間隔 5 min），緩慢交替下降管壓和管流。另外，只要能夠滿足測量精度，盡量不要讓 X光管滿功率運轉。X 射線管高功率運行過后，一定要讓儀器在 X 光管不工作的情況下，讓冷卻系統再運轉一會，然后再關機。此外，在假期期間，如果長時間關機的話再次開機也容易造成光管壞損，所以建議長假期間不要讓儀器太長時間停止工作。
（4）與 X 光管緊密聯系的是高壓電源，在很多情況下，X光管和高壓電源的故障是緊密相連的，甚至有時候很難分辨清楚。而且，高壓電源的性能指標在很大程度上決定著 X 光管系統的性能指標。XRF 儀器對 X光管高壓電源穩定性的要求很高，最好不要使用日常測量時的加電程序，而采用手動加電的方式，這樣可以延長一些 X光管的壽命。
（5）對于初次使用或停用 1 個月以上的 X 光管都必須進行老化操作，日常使用中最好也例行簡單的老化操作。可以按照圖 1 所示的步驟進行老化操作。