X射線熒光光譜(XRF, X Ray Fluorescence)是通常把X射線照射在物質上而產生的次級X射線叫X射線熒光(X-Ray Fluorescence)，受激發的樣品中的每一種元素會放射出X射線熒光，并且不同的元素所放射出的X射線熒光具有特定的能量特性或波長特性。探測系統測量這些放射出來的熒光的能量及數量。然后，儀器軟件將探測系統所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含量。利用X射線熒光原理，理論上可以測量元素周期表中鈹以后的每一種元素。在實際應用中，有效的元素測量范圍為9號元素(F)到92號元素(U)。