由于加工工藝等方面的原因，電子經緯儀精度主要由下面的因素決定:
1、成像誤差：望遠鏡成像質量包括望遠鏡鑒別率和像差，望遠鏡調焦時視軸變動誤差；
2、軸系誤差：其中包括軸的制造準確度、軸與軸之間的間隙、豎軸與橫軸的垂直度、視準軸與橫軸的垂直度、豎軸不鉛垂、照準部旋轉正確性等；
3、偏心差：偏心差包括照準部偏心差、水平度盤偏心差、豎直度偏心差；
4、豎盤指標自動補償器的補償準確度；
5、碼盤或光柵盤的準確度和測微光柵的分劃誤差；
6、儀器基座的穩定性；
7、電器元件的可靠性；
8、相位的正交性。
