準分子激光器,以準分子為工作物質的一類氣體激光器件。常用相對論電子束(能量大于200千電子伏特)或橫向快速脈沖放電來實現激勵。當受激態準分子的不穩定分子鍵斷裂而離解成基態原子時,受激態的能量以激光輻射的形式放出。