1、激光器：波長 193nm氣體準分子激光器；最大激光能量輸出： 200mJ ；脈沖寬度：4～20ns；脈沖頻率 1～20Hz，可連續或分檔調節。；激光脈沖能量穩定性：< 2%（1 sigma）；樣品表面能量密度： 達到30 J/cm2 以上；冷卻裝置：空冷；激光安全等級：1級。
2、束斑尺寸：5~160 ？m diameter；在束斑尺寸5~160 μm范圍內具有相同能量密度且不小于30 J/cm2。燒蝕斑點不少于13個尺寸可選，全部由軟件切換，切換時間< 0.5s。樣品表面光斑為光柵的真實成像，確保剝蝕坑輪廓清晰底部平坦。
3、光學系統：具有反射照明、透射照明系統和偏振裝置，軟件控制。觀象系統有放大和聚焦功能，電腦屏幕上顯示的可視樣品范圍小于0.71 mm × 0.53 mm。配置高清數字彩色CCD影像顯微系統，圖像光學分辨率 < 1μm。配置顯微成像系統或廣角數字CCD和彩色LCD樣品導航屏幕，便于觀察和選取燒蝕位置。
4、進樣系統：自動控制的工作臺，移動范圍50mm×50mm。 工作臺移動步進分辨（Step resolution）好于0.1μm 。可移動更換的樣品。