熒光光譜儀的光譜分辨率。光譜分辨率是指把光譜特征、譜帶分解成為分離成分的能力。高級的熒光光譜儀分辨率可達0.5～1nm。
熒光光譜儀的頻譜范圍。高級的熒光光譜儀可覆蓋200nm～1500nm。
熒光光譜儀中的波長準確度和波長重復性。波長準確度，是指波長的實際測定值與理論值(真值)的差，高端儀器的波長準確度可達0.1nm。波長重復性與波長準確度一樣重要，是光譜儀可靠性的標志，高端的儀器可達0.1nm。
熒光光譜儀中的信噪比(S/N)。 一般水的拉曼S/N測試方法是把體系的靈敏度(信號存在)和體系噪音(信號不存在)的數據同時獲取并進行比較，顯示了儀器的綜合性能。較好的拉曼S/N可達6000：1。