勻膠機是在旋轉的基片上，滴注膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設備，膜的厚度取決于勻膠機的轉速和溶膠的黏度。
選購技巧
從其原理來說，可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節
旋轉速度
轉速的快慢和控制直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速大。
真空吸附系統的構造
如果真空吸附力不夠的時候，不會開始旋轉。
材質的選擇
對于半導體化工行業的應用來說，材質的選擇尤為關鍵，大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質，因為這種材質的成本很低，不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于溫度和壓力下易產生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導致旋涂時，時高時低的顛簸狀態。