ATO粉體具有制備工藝簡單、成本低、制備條件易于控制、合成周期短等優點，已成為研究最多的制備方法。
化學共沉淀法是把沉淀劑加入混合后的金屬鹽溶液中，使溶液中含有的兩種或兩種以上的陽離子一起沉淀下來，生成沉淀混合物或固溶體前驅體，過濾、洗滌、熱分解，得到復合氧化物的方法。沉淀劑的加入可能會使局部濃度過高，產生團聚或組成不夠均勻。
化學共沉淀法不僅可以使原料細化和均勻混合，且具有工藝簡單、煅燒溫度低和時間短、產品性能良好等優點。
