1、塵粒大允許數(每立方米)。
2、大或等于0.5微米的粒子數不得超過3500000個，大或等于5微米的粒子數不得超過20000個。推薦儀器：塵埃粒子計數器
3、微生物大允許數。
4、浮游菌數不得超過500個每立方米。推薦儀器：浮游菌采樣器
5、沉隆菌數不得超過10個每培養皿。
6、壓差：相同潔凈度等級的潔凈室壓差保持一致，對于不同潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。推薦儀器：壓差計
7、溫濕度要求：十萬級潔凈室對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈工作服不產生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%，夏季潔凈室濕度控制在50-70%。推薦儀器：溫濕度儀
8、配電：潔凈室(區)的主要生產用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。推薦儀器：照度計