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  • 發布時間:2021-09-07 19:56 原文鏈接: 半導體壓力傳感器簡介

      由半導體壓力敏感元件構成的傳感器。對壓力、應變等機械量進行信息處理的必要條件是把機械量轉換成電學量,這種機-電變換裝置就是壓力傳感器。

      半導體壓力傳感器可分為兩類,一類是根據半導體PN結(或肖特基結)在應力作用下,I-υ特性發生變化的原理制成的各種壓敏二極管或晶體管。這種壓力敏感元件的性能很不穩定,未得到很大的發展。另一類是根據半導體壓阻效應構成的傳感器,這是半導體壓力傳感器的主要品種。早期大多是將半導體應變片粘貼在彈性元件上,制成各種應力和應變的測量儀器。60年代,隨著半導體集成電路技術的發展,出現了由擴散電阻作為壓阻元件的半導體壓力傳感器。這種壓力傳感器結構簡單可靠,沒有相對運動部件,傳感器的壓力敏感元件和彈性元件合為一體,免除了機械滯后和蠕變,提高了傳感器的性能。

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