半微量分析即試樣質量為0.01克量級的定性和定量分析，是介于常量分析與微量分析之間的分析方法。被測物質的用量僅約為常量的1/25～1/10，質量約為10mg～100mg。通常并用微量分析的點滴反應和顯微結晶反應。沉淀多在3～5ml的離心管中用離心機分離，并用毛細管和點滴反應極等儀器。兼有常量分析和微量的優點。
半微量分析可分為半微量定量分析和半微量定性分析。半微量分析是較常用的分析方法，特別是在巖礦分析中，一次取5～100毫克樣，用電感耦合等離子體質譜法（ICP/MS）、電感耦合等離子體原子發射光譜法（ICP/AES）、X射線熒光能譜法（XRF）等方法可同時測定幾十個組分的含量。