半自動探針臺的技術指標

　　支持4，5，6寸wafer 分辨率0.25um 提供4個SMU接口，可同時輸出（測量）四路直流信號。 每個SMU最大輸出電壓100V(-100V),最大輸出電流1A 測量功率100V*10mA。 開路漏電流20fA。