中文名稱
盧瑟福背散射譜法
英文名稱
Rutherford back scattering spectroscopy
定 義
以兆電子伏特級的高能氫元素離子通過針形電極(探針)以掠射方式射入試樣，大部分離子由于試樣原子核的庫侖作用產生盧瑟福散射，改變了運動方向而形成背散射。測量背散射離子的能量、數量，分析試樣所含有元素、含量和晶格的方法。
應用學科
機械工程（一級學科），分析儀器（二級學科），能譜和射線分析儀器-能譜和射線分析儀器分析原理（三級學科）
