原子發射光譜儀工作時，由于激發光源的能量高，在200～1000nm波長范圍會產生10萬～1000萬條譜線，平均在0. lmm寬度就分布上百條譜線，因而幾乎每個元素的分析線都會受到不同程度的譜線干擾。當使用ICP光譜儀時，比其它光源會出現更強的譜線重疊干擾，而成為ICP-AES中的主要干擾。
原子發射光譜分析，是根據處于激發態的待測元素原子回到基態時發射的特征譜線對待測元素進行分析的方法。
學習原子發射光譜儀之前的幾個概念一定要知道：激發電位、原子線、共振線、電離電位和離子線。
激發電位：將原子中的一個外層電子從基態躍遷至激發態所需的能量，通常以電子伏特來（ eV ）表示。每條譜線對應一激發電位。
原子線：原子外層電子的躍遷所發射的譜線，以I表示，如Na(I)
共振線：由激發態直接躍遷至基態時所輻射的譜線，激發電位小、zui易激發、譜線zui強。
電離電位和離子線：原子受激后得到足夠能量而失去電子，成為離子——電離；所需的能量稱為電離電位；離子的外層電子躍遷——離子線。以II，III，IV等表示。
原子發射光譜儀器的構成
基本結構由三部分組成，即激發光源、單色器和檢測器。
激發光源
激發光源對試樣有兩個方面的作用:
①蒸發——首先，把試樣中的被測組份蒸發成氣態原子。
②激發——試樣被蒸發后，氣態原子被激發，使之產生特征光譜。
光源通常是決定測定靈敏度、準確度的重要因素。
激發源的類型：
直流電弧（DCA）
低壓交流電弧（ACA）
高壓火花
電感耦合等離子體ICP(Inductively Coupled Plasma)
微波等離子體