⑴可多元素同時檢測各元素同時發射各自的特征光譜；
⑵分析速度快試樣不需處理，同時對幾十種元素進行定量分析（光電直讀儀）；
⑶選擇性高 各元素具有不同的特征光譜；
⑷檢出限較低 10～0.1mg×g-1（一般光源）；ng×g-1(ICP）
⑸準確度較高 5%～10% （一般光源）；<1% (ICP) ；
⑹ICP-AES性能優越線性范圍4～6數量級，可測高、中、低不同含量試樣；
缺點：非金屬元素不能檢測或靈敏度低。
在正常狀態下，元素處于基態，元素在受到熱（火焰）或電（電火花）激發時，由基態躍遷到激發態，返回到基態時，發射出線狀光譜。不同元素由于原子結構不同，產生的光譜線具有特征性，所以稱為特征譜線。在原子發射光譜分析中又提出來元素的共振線、靈敏線、最后線和分析線。