原理
原子的核外電子一般處在基態運動，當獲取足夠的能量后，就會從基態躍遷到激發態，處于激發態不穩定（壽命小于10-8 s），迅速回到基態時，就要釋放出多余的能量，若此能量以光的形式出顯，即得到發射光譜（線光譜）。
每個元素有自己獨特的特征光譜，從而進行元素定性分析。
主要特點
（1）高溫，104K；
（2）環狀通道，具有較高的穩定性；
（3）惰性氣氛，電極放電較穩定；
（4）具有好的檢出限,一些元素可達到10-3~10-5ppm；
（5）ICP穩定性好，精密度高，相對標準偏差約1%；
（6）基體效應小；
（7）光譜背景小；
（8）自吸效應小；
（9）線性范圍寬。