光源
作為光源要求發射的待測元素的銳線光譜有足夠的強度、背景小、穩定性
一般采用：空心陰極燈 無極放電燈
分光系統（單色器）
由凹面反射鏡、狹縫或色散元件組成
色散元件為棱鏡或衍射光柵
單色器的性能是指色散率、分辨率和集光本領
檢測系統
由檢測器（光電倍增管）、放大器、對數轉換器和電腦組成
