原子熒光光度計是將樣品溶液中的待分析元素還原為揮發性共價氣態氫化物(或原子蒸汽)，然后借助載氣將其導入原子化器，在氬-氫火焰中原子化而形成基態原子。基態原子吸收光源的能量而變成激發態，激發態原子在去活化過程中將吸收的能量以熒光的形式釋放出來，此熒光信號的強弱與樣品中待測元素的含量成線性關系,因此通過測量熒光強度就可以確定樣品中被測元素的含量。
技術優點
非色散系統、光程短、能量損失少
結構簡單，故障率低
靈敏度高，檢出限低，與激發光源強度成正比
接收多條熒光譜線
適合于多元素分析
采用日盲管檢測器，降低火焰噪聲
線性范圍寬，3個量級
原子化效率高，理論上可達到100%
沒有基體干擾
可做價態分析
只使用氬氣，運行成本低
采用氬氫焰，紫外透射強，背景干擾小