雙波長激光器造就無需紫外光的光刻技術

　　【導語】計算機芯片中采用光刻技術創建圖片來存儲信息，光刻技術中紫外光和圖片大小有成正比關系，紫外光波長越短，圖片越小，短波紫外光條件非常苛刻而且昂貴。近期，John Fourkas，來自美國馬里蘭大學化學與生命科學學院的化學與生物化學教授，和他的研究小組已經研發出一種新型臺式儀器——RAPID光刻儀(通過光致鈍化增強分辨率)，使無需使用紫外線制作微型圖片成為可能。

　　圖片說明：RAPID光刻儀——John Fourkas及其研究組研發出的技術可創建比人頭發絲小2500倍的圖片。

　　制作微型圖片的能力，對于計算機芯片的制造和納米技術其它許多現行的有潛力的應用來說，是非常必要的。然而，通過常用的稱為光刻技術的工藝制造較小的圖片，需要使用紫外光，因此從事此項研究就非常困難而且昂貴。

　　John Fourkas，來自美國馬里蘭大學化學與生命科學學院的化學與生物化學教授，和他的研究小組已經研發出一種新型臺式儀器——RAPID光刻儀(通過光致鈍化增強分辨率)，使無需使用紫外線而制作微型圖片成為可能。

　　這項研究將刊登在科學雜志2009年4月9日的科學快訊欄目中。

　　光刻技術是使用光存儲或刪除信息，在介質層面上創建圖片。通常所采用的光的波長與創建圖片的尺寸成正比關系。因此，納米加工技術依賴短波紫外線產生較小的圖像。

　　“RAPID光刻儀——我們所研發出的，能夠創建比采用的光波長小20倍的圖片，” Fourkas博士解釋說，“這意味著，它簡化了納米加工進程。我們期待RAPID可以應用在許多領域諸如電子、光學、生物醫學設備等。”

　　“如果你最近幾年在牙醫那用填補材料補過牙齒，” Fourkas說，“你應該已經看到，一種粘稠液體從洞中噴射，然后使用一束藍色的光固化。一個類似于光固化的過程，是RAPID的第一組成元素。現在想象，你的牙醫使用第二個光源塑造填充物并阻止它在某些地方硬化。我們已經開發出一種方法，即采用用第二種光源進行塑造，且可以創建比人類頭發絲細2500倍的圖片。”

　　Fourkas和他的研究組使用的兩個激光光源是同種顏色，唯一的區別是，用于加固材料的激光產生短時間光猝發，而用于防止硬化的激光是連續不斷的。第二個激光束也通過了特殊的光學裝置，便于進行目標形狀的塑造。

　　“事實上滿足RAPID中的連續不斷的激光的條件特別容易達到，” Fourkas說，“因為不必控制兩個不同脈沖激光器的時間。”

　　Fourkas和他的研究小組目前正在努力改善RAPID光刻技術，他們認為將有可能創造出的圖片大小將是他們目前創建圖片大小的一半。

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