四探針電阻率測試儀是一種測量半導體材料的電阻率的儀器。
對于半導體材料的電阻率，一般采用四探針、三探針和擴展電阻。
電阻率是反映半導體材料導電性能的重要參數之一。測量電阻率的方法很多，四探針法是一種廣泛采用的標準方法。它的優點是設備簡單、操作方便，精確度高，對樣品的形狀無嚴格要求。
最常用的是直線型四探針。四根探針的針尖在同一直線上，并且間距相等，都是S，一般采用0.5mm的間距，不同的探針間距需要對測量結果做相應的校正。
一般四探針電阻率（電導率）測試儀均已配置厚度的修正，通過厚度數值的設置，計算出不同的樣品厚度對電阻率的影響。