場發射掃描電子顯微鏡具有超高分辨率，具有高性能X射線能譜儀，能同時進行樣品表層的微區點線面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化學組分綜合分析能力，能做各種固態樣品表面形貌的二次電子象、反射電子象觀察及圖像處理。
場發射掃描電子顯微鏡（FESEM）具有超高分辨率，能做各種固態樣品表面形貌的二次電子象、反射電子象觀察及圖像處理。 具有高性能x射線能譜儀，能同時進行樣品表層的微區點線面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化學組分綜合分析能力。
