通常，對低真空和高真空的測量不能用一種真空計來完成，而應采用復合真空計，應用較多的是電離與熱偶式復合真 空計。它的測量范圍為13.33--666.6×10-8Pa。熱偶真空計測量（10-1--10-3)×133.32Pa的低真空；電離真空計測量 133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真空。復合真空計附有一個熱偶規管、一個電離規管，分別接在真空系統上，通過旋鈕可分別給兩個規管加熱，并選擇使用。
(1)連接好熱偶規、電離規和儀器的電纜，插頭不可接錯，插錯將燒壞規管。
(2)低真空測量使用熱偶規時，開關放在“加熱”位置，旋電流調節旋鈕使加熱電流為給定值。再將開關撥在“測量”位置，從表上即可
讀取真空度。
(3)低真空測量使用電阻規時，要進行“零點”和“滿度”校準。
(4)使用電離規時，按電離真空計操作執行。
(5)測量過程中整個系統電源電壓必須恒定。當真空度低于0.1Pa時，不能使用電離規。