電子衍射與x射線衍射一樣,遵從衍射產生的必然條件（布拉格方程+反射定律,衍射矢量方程或厄瓦爾德圖解等）和系統消光規律.但電子波是物質波,按入射電子能量的大小,電子衍射可分為高能電子衍射、低能電子衍射和反射式高能電子衍射,而x射線衍射是x射線照射樣品.
