多通道石英晶體監測儀采用了rs-232接口和windows?窗口軟件，可以通過電腦上進行調試安裝。在大型系統中，傳感器輸入可以分配給不同材料，采集的數據通過平均值，以達到更精確的沉積控制；也可以設定為雙探頭模式。在高沉積速率過程中，為了延長傳感器的使用壽命，速率采集模式允許探頭帶一個檔板。用戶可以自己選擇0.1?/s 還是0.01?/s的速率顯示模式.另外，還可以選擇頻率或質量顯示模式。sqm160的四路繼電輸出可以用來控制沉積源、探頭檔板、信號時間、膜厚設定值以及晶片失效信號等。
