1.故障現象：m/z 18、28、32峰大于10%氦氣峰m/z 4
產生故障的可能原因及排除方法：
a. 空氣泄漏，排除方法是檢漏，檢查柱子的連接情況；
b. 氦氣即將用盡, 氣瓶內雜質富集，排除方法是更換載氣瓶并安裝脫氣裝置；
c. 新近清洗的離子源未烘干，排除方法是設置250℃的離子源溫度烘烤離子源；
d. 柱子被污染，排除方法是老化柱子。
2.故障現象：燈絲狀態良好時，無離子產生
產生故障的可能原因及排除方法：
a. 離子源需要重新校準，排除方法是利用校準工具重新校準離子源；
b. 空氣泄漏嚴重，排除方法是檢漏并緊固各連接處。
3.故障現象：調諧質譜儀時, 高質量峰m/z 502、614不顯示
產生故障的可能原因及排除方法：預四級桿短路，排除方法是將預四級桿拆下, 用氦氣或氮氣吹干。